Módulo de control para obleas VULCANO XYT3 ejes
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Características
- Especificaciones
- 3 ejes, para obleas
Descripción
La plataforma VULCANO XYT se compone del sistema estándar VULCANO XY equipado con el módulo rotativo RTTB que incluye un encoder de alta resolución montado sobre un excepcional rodamiento mecánico.
El uso de esta plataforma es adecuado para, entre otros:
- Aplicaciones de Control de Proceso de Obleas tales como Metrología de Recubrimiento de Capa, Dimensiones Críticas y Metrología de Lámina Delgada.
- Back-end: procesos de flip-chip específicos sobre grandes paneles/sustratos
Características
- Diseño compacto
- Estabilidad de posición nanométrica
- Tiempos de desplazamiento y estabilización cortos
- Alta dinámica
- Alta repetitividad bidireccional
- Alta estabilidad de posición
- Compatibilidad con sala limpia ISO class 1
VÍDEO
Catálogos
VULCANO Platform leaflet
3 Páginas
Ferias
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* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.