Descripción generalEl pasamuros de alta tensión para vacío INNOVACERA es un dispositivo de penetración eléctrica diseñado para entornos de alto vacío. Transmite herméticamente potencia o señales de alta tensión desde la atmósfera al interior de una cámara de vacío manteniendo la integridad del vacío y el rendimiento de aislamiento. El aislador es cerámica de alúmina al 95 % combinada con piezas metálicas (acero inoxidable 304, cobre sin oxígeno, aleación Kovar) para garantizar estabilidad en condiciones de proceso exigentes.
Aplicaciones- Sistemas láser excímeros: solución fiable de alimentación de alta tensión para la cavidad de descarga
- Industria de semiconductores y optoelectrónica: fotolitografía, procesamiento de obleas, fabricación de componentes ópticos, grabado de redes de fibra
- Paneles de visualización: recocido LTPS, procesamiento de pantallas flexibles
- Fabricación automotriz: tratamiento superficial de cilindros de motor, sistemas de disparo de airbags
- Nuevas energías e investigación: producción de células fotovoltaicas, modificación de superficies, experimentos de laboratorio
Estructura y materiales del producto- Aislador: cerámica de alúmina 95 % — alta rigidez dieléctrica, resistencia a altas temperaturas, bajo outgassing
- Conductor/Pinza: aleación Kovar o cobre libre de oxígeno (OFC) — compatibilidad de expansión térmica y excelente conductividad
- Cubierta/Brida: acero inoxidable 304 o aleación Kovar — resistente a la corrosión, soldable, compatible con vacío
Parámetros técnicos- Material aislante: cerámica Al₂O₃ 95 %
- Piezas metálicas: acero inoxidable 304 / aleación Kovar / cobre libre de oxígeno
- Rango de tensión: 1 kV – 30 kV (tensiones mayores disponibles a pedido)
- Temperatura de operación: -40°C a +300°C (personalizable)
- Tasa de fuga de helio: ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
- Resistencia de aislamiento: >10¹² Ω
- Opciones de brida/conector: CF, KF o a medida
Características principales- Transmisión hermética de alta tensión para aplicaciones en alto vacío
- Alta rigidez dieléctrica y bajo outgassing gracias al aislador de alúmina 95 %
- Materiales seleccionados para compatibilidad de dilatación térmica y sellado bajo vacío
- Posibilidad de personalización de tensión, tipo de brida y rango de temperatura
- Fabricado y probado para garantizar baja fuga de helio y alta resistencia de aislamiento
Personalización y pedido- La tensión, configuración de pines, tipo de brida (CF/KF/a medida) y rango de temperatura pueden adaptarse a los requisitos
- Diseños para tensiones superiores y materiales especiales disponibles a pedido
- Documentación suministrada: informe de ensayo de fugas, certificados de materiales y datos de pruebas eléctricas