Máquinas de control de defectos KLA

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máquina de control óptica
máquina de control óptica
39 series

... Los sistemas de inspección de defectos por plasma de banda ancha 3935 y 3920 EP permiten la detección de defectos a nivel de oblea, el aprendizaje del rendimiento y la supervisión en línea para la lógica de ≤5nm y los ...

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máquina de control óptica
máquina de control óptica
29 series

... Descripción general
Sistemas integrales de inspección y revisión de defectos en obleas para detección, clasificación y monitorización de defectos de patrón y superficie en I+D y producción. Las plataformas combinan ...

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máquina de control óptica
máquina de control óptica
C30x

... Los inspectores de defectos ópticos de plasma de banda ancha de la serie C30x permiten el descubrimiento sistemático de defectos y la detección de defectos de fiabilidad latentes en la fabricación de ...

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máquina de control óptica
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Puma™

... de herramientas avanzadas de inspección y revisión de defectos en obleas, ofrece la solución de mayor rendimiento para la supervisión de rampas de producción al mejorar la captura de tipos de defectos en capas de patrón ...

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máquina de control óptica
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CIRCL™

... rendimiento para un control eficiente del proceso. Los módulos que componen el sistema CIRCL5 de última generación incluyen: inspección de defectos en la cara frontal de la oblea; inspección, perfil, metrología y revisión ...

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máquina de control óptica
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Surfscan®

... fase (PCC) y la iluminación normal (NI), detectan tipos de defectos únicos en obleas desnudas, películas lisas y rugosas, y resistivos y pilas de litografía frágiles. La clasificación de defectos basada en imágenes (IBC), ...

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máquina de control óptica
máquina de control óptica
eDR7380™

... alta resolución de los defectos y utiliza la clasificación automática de defectos mediante aprendizaje automático para producir un pareto de defectos preciso. Los datos generados por el eDR7380 permiten ...

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máquina de control óptica
máquina de control óptica
Archer™

... seguimiento preciso del rendimiento de la superposición del dispositivo. Aplicaciones Control de superposición en el producto, supervisión en línea, cualificación de escáneres, control de patrones, dimensión crítica ...

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máquina de control óptica
máquina de control óptica
Candela® 8420

... fotosensibles. Control de calidad de sustratos, comparación de proveedores de sustratos, control de calidad de obleas entrantes (IQC), control de calidad de obleas salientes (IQC), CMP (proceso químico ...

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máquina de control óptica
máquina de control óptica
Candela® 8520

... proveedores de sustratos, control de calidad de obleas entrantes (IQC), control de calidad de obleas salientes (IQC), CMP (proceso químico mecánico) / control de procesos de pulido, control ...

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