ResumenAmplia gama de mezclas de disolventes especializadas diseñadas para eliminación de reborde de fotorrevestimiento (Edge Bead Removal - EBR), retrabajo, enjuague y aplicaciones de prehumectado. Fujifilm suministra disolventes de pureza ultraalta y mezclas personalizadas para cumplir requisitos lithográficos estrictos respecto a partículas, metales traza y contaminantes orgánicos.
Gama de productos- Alcoholes y cetonas
- Metanol
- Acetona
- MEK
- Etanol
- IPA
- MIBC
- MIBK
- Ciclopentanona
- Ciclohexanona
- Acetatos, lactonas y éteres
- Disolventes EUV y mezclas a medida
- Disolventes específicos para EUV y formulaciones personalizadas (consulte a su representante de cuenta Fujifilm)
Características y ventajas- Grados de pureza ultraalta para reducir defectos y contaminación
- Disolventes optimizados para EUV que mejoran el control del patrón y reducen la hinchazón del resist
- Soporte para procesos personalizados y mezclas a medida
- Ensayos analíticos avanzados para garantizar pureza y consistencia del producto
- Fabricación y envasado regionalizados en EE. UU., Europa y Asia
- Opciones de envasado:
- Botellas de vidrio 1–4 L
- NOWPak
- Tambores: acero inoxidable, PFA, HDPE
- IBC: acero inoxidable, PFA, HDPE
- ISOtainer
Especificaciones técnicas- Marca: Fujifilm
- Nombre / serie del producto: NTI Developers
- Aplicaciones previstas: Edge Bead Removal (EBR), retrabajo, enjuague, prehumectado para procesos de fotorrevestimiento
- Familias químicas disponibles: alcoholes, cetonas, acetatos, lactonas, éteres, disolventes específicos para EUV
- Químicas representativas: Metanol, Acetona, MEK, Etanol, IPA, MIBC, MIBK, Ciclopentanona, Ciclohexanona, PGME, PGMEA, GBL, EL, nBA
- Pureza / calidad: grados de pureza ultraalta; cumplimiento de normas globales para partículas, metales traza y contaminantes orgánicos
- Personalización: disponibles mezclas de disolventes y soporte de proceso personalizados
- Fabricación y envasado: fabricación regionalizada (EE. UU., Europa, Asia); opciones de envasado: botellas de vidrio (1–4 L), NOWPak, tambores (acero inoxidable, PFA, HDPE), IBC (acero inoxidable, PFA, HDPE), ISOtainer
- Aseguramiento analítico: uso de herramientas analíticas de vanguardia para verificar pureza y calidad
- Nota de marca registrada: NOWPak es una marca o marca registrada de Entegris, Inc. en los Estados Unidos y/o en otros países