Revelador para resina fotosensible OPD series

Overview FUJIFILM Electronic Materials ofrece una gama completa de reveladores a base de TMAH para sistemas de fotorresist positivos y negativos. Disponibles en formulaciones listas para usar (RTU) y concentradas, los productos son aptos para revelado por inmersión y en pistas en línea en fabricación de semiconductores.

Product Lineup

• Productos listos para usar (RTU)
  • Revelador sin tensioactivo (TMAH 2.38 wt%)
  • Revelador con tensioactivo (TMAH 2.38 wt%)
• Productos concentrados
  • Concentrado TMAH 24.9% (requiere dilución por parte del cliente)
  • 10% TMAH con tensioactivo (concentrado premezclado para dilución)
• Ejemplos de modelos
  • OPD 262 — revelador sin tensioactivo
  • OPD 4262 — revelador con tensioactivo de amplia compatibilidad
  • OPD 4280 — revelador con tensioactivo de amplia compatibilidad
  • WNRD — revelador para resists negativos

Features & Benefits

• Varias calidades de pureza, incluidas opciones de ultra‑alta pureza para aplicaciones avanzadas y EUV
• Formatos RTU y concentrados para flujos de trabajo estándar o dilución in situ
• Compatible con revelado por inmersión y sistemas de pista en línea
• Opciones con o sin tensioactivo para adaptar al resist y al proceso
• Suministro a granel y en concentrado para fabricación de alto volumen

Packaging & Delivery

• Totes de 1000 L (desechables o retornables)
• Tambores de 200 L (desechables o retornables)
• Entrega a granel (según ubicación)
• 4 x 4 L botellas

Technical Specifications

• Base química: TMAH (tetrametilamonio hidróxido)
• Tipos de producto: RTU (p. ej. TMAH 2.38 wt%) y concentrados (p. ej. 24.9% TMAH; 10% TMAH con tensioactivo)
• Aplicaciones: sistemas de fotorresist positivos y negativos; revelado por inmersión y en pista en línea; compatible con EUV
• Tensioactivo: disponible con o sin
• Grados de pureza: estándar a ultra‑alta pureza
• Opciones de suministro: concentrado, granel, tambores, IBC, botellas pequeñas

Ordering & Support

• Empaques personalizados y soporte de dilución disponibles para clientes de alto volumen
• Contacte a FUJIFILM Electronic Materials para muestras, fichas técnicas e información regulatoria