El filtro de masa cuadrupolar de Innovacera, abreviado como cuadrupolo, es el componente central del espectrómetro de masa cuadrupolar. Generalmente está compuesto por cuatro varillas metálicas paralelas cilíndricas o hiperbólicas. Se aplican dos pares de electrodos: voltaje de corriente continua (DC, U) y voltaje de radiofrecuencia (RF, V·cos(ωt)). El analizador de masa cuadrupolar separa los iones en función de la estabilidad de la trayectoria iónica en el campo eléctrico oscilante.
Tabla de parámetros estructurales:
- Opciones de material: Cerámica chapada en oro/Acero inoxidable/Molibdeno
- Diámetro de las varillas: 2-16mm
- Longitud de las varillas: 100-300mm
- Base: Cerámica de alúmina/Cerámica de vidrio mecanizable
- Precisión integral: ≤3μm
Propiedades del material de cerámica de alúmina al 99%:
- Color: Marfil
- Características principales: Excelente resistencia a la corrosión por plasma, alta resistencia al desgaste.
- Campo de aplicación: Componentes de equipos semiconductores, piezas resistentes al desgaste y a la corrosión.
- Densidad: 3.88 g/cm3
- Absorción de agua: 0%
- Dureza Vickers: 17 HV
- Resistencia a la flexión: 350 MPa
- Resistencia a la compresión: 2450 MPa
- Módulo de Young: 350 GPa
- Coeficiente de Poisson: 0.22
- Tenacidad a la fractura: 4-5 MPa·m1/2
- Coeficiente de expansión lineal (40-400°C): 8.2 x10-6/°C
- Conductividad térmica (20°C): 25-30 W/(m·k)
- Calor específico: 0.8 J/(kg·k)x103
- Resistividad volumétrica (20°C): >1015 Ω·cm
- Resistencia dieléctrica: 20 KV/mm
- Constante dieléctrica: 9.2
- Coeficiente de pérdida dieléctrica: 2 x10-4
- Pérdida de peso en ácido nítrico (HNO3) (90°C): 1015 Ω·cm, Resistencia dieléctrica 20 KV/mm, Constante dieléctrica 9.2, Coeficiente de pérdida dieléctrica 2 x10-4, Temperatura máxima de uso 1500°C