Manómetro de vacío de cátodo frío

de ionizaciónde cátodo caliente

Descripción general
El medidor de ionización para alto vacío INNOVACERA mide el grado de vacío en sistemas de laboratorio, industriales y de investigación. Ioniza las moléculas de gas en una cámara dedicada y mide la corriente resultante de iones/electrones para determinar la densidad de gas y el nivel de vacío. Está disponible en variantes de cátodo caliente, cátodo frío y fuentes radiactivas según la aplicación y el rango de presión.

Principio de funcionamiento
El medidor consta de una cámara de ionización y un colector de electrones/iones. Las moléculas de gas que entran en la cámara se ionizan mediante filamentos calefactores, haces de electrones u otras fuentes de ionización. Los iones positivos (o electrones, según el diseño) son recogidos por un campo eléctrico, generando una corriente medible proporcional a la densidad de las moléculas de gas. Un aumento de la corriente medida corresponde a una mayor densidad de gas (menor vacío); una disminución indica menor densidad de gas (mayor vacío).

Rango de medición

• Usar alto voltaje y una cámara de ionización mayor para mediciones a presiones muy bajas
• Usar bajo voltaje y una cámara más pequeña para mediciones a presiones más altas

Rango nominal de medición: 0,1 ~ 10^-8 Pa

Especificaciones técnicas

• Tipo de producto: Medidor de ionización para alto vacío
• Fabricante: INNOVACERA
• Principio de medición: Ionización de moléculas de gas en una cámara con recogida de partículas cargadas; medición de la corriente resultante proporcional a la densidad de gas
• Métodos de ionización: Cátodo caliente (filamento calefactor), cátodo frío, haz de electrones, fuente radiactiva (según tipo)
• Operación recomendada: alto voltaje + cámara grande para presiones muy bajas; bajo voltaje + cámara pequeña para presiones más altas
• Rango nominal de medición: 0,1 ~ 10^-8 Pa

Aplicaciones

• Sistemas de vacío en laboratorios y centros de investigación
• Procesos industriales de vacío: deposición de películas delgadas, fabricación de semiconductores, tratamiento de superficies
• Metrología del vacío y laboratorios de calibración

Instalación y mantenimiento
Instale el medidor en un puerto de vacío compatible con las penetraciones eléctricas y una conexión a tierra adecuada. Mantenga la limpieza para evitar la contaminación de la cámara de ionización. Calibre periódicamente frente a una referencia. Sustituya filamentos o fuentes radiactivas según las instrucciones del fabricante y siga los procedimientos de seguridad para los tipos radiactivos.