Brazo manipulador de cerámica

de manipulación de obleas

Las piezas cerámicas de alúmina se utilizan para piezas giratorias en máquinas de fotolitografía y en estado de vacío. Esto requiere una precisión de mecanizado extremadamente alta, y se exige que la excentricidad del círculo interior no supere las 2 micras. La cerámica fina se ha convertido en un componente clave de los equipos semiconductores. Especialmente en las máquinas de litografía de alta gama, con el fin de lograr una alta precisión de proceso, es necesario utilizar ampliamente componentes cerámicos con buen compuesto funcional, estabilidad estructural, estabilidad térmica y alta precisión dimensional.Tales como E-chuck, Vacumm-chuck, Block, esqueleto de acero magnético placa refrigerada por agua, reflector, carril de guía, etc. Otras piezas cerámicas de alta precisión utilizadas en la industria de semiconductores La cerámica de precisión se ha convertido en un componente clave de los equipos de semiconductores, incluidos los hornos monocristalinos, los equipos de implantación de iones, las máquinas de fotolitografía, los equipos de CVD/PVD y los equipos de envasado y ensayo.