Platina de posicionamiento de traslación INV

XYZmultiejeguiada sin fricción

Visión general
La plataforma de movimiento multi ejes con cojinete de aire cerámico de ultra precisión de Innovacera utiliza alúmina de alta pureza para las guías principales y las superficies de referencia de precisión. Combinada con soportes de cojinetes aerostáticos, una arquitectura multi ejes y sistemas de accionamiento y retroalimentación de posición configurables, ofrece una base de movimiento estable y sin contacto para inspección de precisión, escaneo óptico, equipos de semiconductores y sistemas de automatización.

Funcionamiento
Durante el funcionamiento, aire comprimido filtrado forma una película de aire uniforme entre los cojinetes y las superficies de guía cerámicas, permitiendo que los componentes móviles operen sin contacto mecánico directo. En comparación con guías rodantes convencionales, la estructura con cojinetes de aire reduce la fricción, el stick-slip a baja velocidad, el desgaste mecánico y las perturbaciones inducidas por lubricación, mejorando la suavidad de escaneo continuo, la consistencia de velocidad y la repetibilidad del movimiento.

Fabricación y Precisión
Los componentes cerámicos principales pueden ser rectificados, lapidados y pulidos con precisión para controlar la planitud, el paralelismo, la perpendicularidad, la rugosidad superficial y las referencias de montaje críticas. Las dimensiones de la plataforma, las configuraciones de ejes, los orificios de montaje, las interfaces neumáticas y las interfaces de accionamiento y retroalimentación pueden personalizarse según el espacio disponible y los requisitos de movimiento.

Características del producto

• Movimiento sin contacto mediante cojinetes de aire
• Guías y superficies de referencia en alúmina de alta pureza
• Control de precisión geométrica a nivel de micrón
• Escaneo suave y control estable de la velocidad
• Mantiene la precisión a largo plazo
• Adecuada para entornos limpios y de baja contaminación
• Arquitectura multi ejes configurable

Especificaciones
Platform Series | Size Class | Flatness | Parallelism | Perpendicularity | Remarks
INV Series | 600 Series | 2 μm | 2 μm | 2 μm | Customized
INV Series | 800 Series | 2 μm | 2 μm | 2 μm | Customized
INV Series | 1200 Series | 2 μm | 2 μm | 2 μm | Customized

Aplicaciones típicas
Equipos de metrología e inspección de precisión
Se utiliza como módulo de movimiento para inspección dimensional de precisión, medición de perfil de superficie, medición sin contacto, escaneo por sonda y máquinas de medición por coordenadas (CMM).

Inspección de semiconductores y obleas
Se emplea para inspección de obleas, escaneo de sustratos, inspección de fotomáscaras, inspección de encapsulados y plataformas de posicionamiento y manipulación de precisión en equipos de semiconductores.

Sistemas ópticos y fotónicos
Se utiliza para alineación de haz, inspección de lentes, medidas interferométricas, acoplamiento de fibra, escaneo de componentes ópticos y ensamblaje y alineación de dispositivos fotónicos.

Procesado láser y micro/nanofabricación
Se utiliza en corte láser, marcado láser, micromecanizado, exposición de precisión y otros sistemas de procesamiento que requieren velocidad de escaneo estable.

Inspección de paneles de visualización y electrónica
Se utiliza para escaneo, inspección y posicionamiento de sustratos de vidrio, paneles de visualización, PCBs y componentes electrónicos de precisión.

Ensamblaje automatizado
Se utiliza en dispensado de alta precisión, colocación, alineación, pick-and-place, ensamblaje e inspección en línea.

Especificaciones técnicas

• Material: alúmina de alta pureza (Al2O3) para guías y componentes de referencia de precisión
• Tipo de cojinete: cojinetes aerostáticos que forman una película de aire uniforme para movimiento sin contacto
• Precisión geométrica: planitud, paralelismo y perpendicularidad controlados a ≤ 2 μm (según tabla para INV Series 600/800/1200)
• Series / Clases de tamaño: INV Series — 600, 800, 1200 (personalizable)
• Tratamiento de superficie: rectificado, lapidado y pulido de precisión para controlar la rugosidad y las referencias
• Arquitectura de movimiento: plataformas multi ejes configurables (X/Y/Z/θ)
• Rendimiento: escaneo suave, control estable de velocidad, baja fricción, reducción de stick-slip y desgaste
• Entorno: adecuada para entornos limpios y de baja contaminación
• Personalización: dimensiones de la plataforma, recorrido, patrones de orificios de montaje, interfaces neumáticas, interfaces de accionamiento y retroalimentación adaptables