Cerámica de anillo

en discosde alúminade protección

Semiconductor Wafer Carrier Disco de alúmina y anillo cerámico de borde Los componentes cerámicos de alta precisión mejoran la gestión del rendimiento en el procesamiento de obleas semiconductoras. Los componentes cerámicos Innovacera proporcionan una estabilidad dimensional precisa, ultraplaneidad y suavidad, y sujeción al vacío de las obleas durante la inspección y el procesamiento. Las configuraciones de bajo contacto con la superficie minimizan el riesgo de que las partículas de la cara posterior afecten negativamente a la geometría de la oblea para aplicaciones de precisión. Los anillos cerámicos de INNOVACERA presentan las siguientes ventajas: 1. Resistencia al desgaste y a la abrasión: La alúmina es una cerámica técnica tenaz con muy buena resistencia al desgaste. 2. Dimensiones de alta precisión con tolerancia de apriete, es más fácil conseguir una relación de ajuste perfecta. 3. Inercia química, resistente a la mayoría de los ácidos y álcalis fuertes. 4. Resistencia a altas temperaturas: soporta hasta 1600°C en atmósferas oxidantes y reductoras. 5. Grandes propiedades mecánicas, la dureza, la compresión y la resistencia a la flexión son muy superiores en el acero inoxidable. 6. Aislamiento eléctrico: La ruptura del aislamiento es de 20KV como mínimo. 7. Atmósferas protectoras o alto vacío a altas temperaturas para eliminar la contaminación o impurezas. 8. Resistencia a la corrosión química a altas temperaturas, incluso con ácidos o álcalis fuertes. 9. Bajo coste de material en aplicaciones de alto nivel que otras cerámicas técnicas.