Blanco de pulverización tantalio

catódico de molibdeno

Resumen
Los blancos de pulverización molibdeno‑tántalo (MoTa) combinan la adhesión del molibdeno al vidrio y su alta conductividad eléctrica con la resistencia química aportada por el tántalo. Están diseñados para capas de electrodos y otras capas funcionales PVD en TFT‑LCD y paneles táctiles, cuando se requiere mayor resistencia a la corrosión y buena estructuración por grabado húmedo.

Fabricación
Plansee produce blancos MoTa mediante procesos de pulvimetalurgia: selección de polvos metálicos de alta pureza, mezcla controlada, prensado, sinterización, conformado y mecanizado de precisión. Los blancos se finalizan en talleres de bonding y se suministran listos para la instalación. El contenido de tántalo puede ajustarse según la aplicación, hasta aproximadamente el 11 % en peso.

Rendimiento y ventajas

• Mejor resistencia química y a la corrosión para capas de electrodos y funcionales
• Excelente adhesión al vidrio y alta conductividad eléctrica
• Microestructura y composición homogéneas para resultados de deposición PVD consistentes
• Buen comportamiento de estructuración por grabado húmedo
• Fabricación optimizada para minimizar la formación de partículas y arcing durante el PVD

Centro de experiencia y desarrollo
Los materiales de recubrimiento y los parámetros de proceso se desarrollan y validan en el laboratorio de aplicaciones PVD de Plansee bajo condiciones industriales. La colaboración con clientes y fabricantes de equipos permite una cualificación rápida y ajustes específicos para la aplicación.

Materias primas y suministro
Plansee controla la cadena de valor desde el polvo de tántalo certificado y libre de conflicto hasta los blancos terminados, garantizando trazabilidad y suministro fiable. Los controles de calidad reducen impurezas metálicas y no metálicas para limitar la generación de partículas.

Características técnicas / especificaciones

• Pureza: ≥ 99,97 % (base metal)
• Densidad del blanco: > 98 % (densidad relativa)
• Contenido de tántalo: según aplicación, hasta ~11 % en peso
• Fabricación: pulvimetalurgia (mezcla, prensado, sinterizado, conformado, mecanizado, bonding)
• Uso previsto: capas de electrodos en TFT‑LCD, paneles táctiles y otras capas funcionales PVD
• Propiedades clave: excelente adhesión al vidrio, alta conductividad eléctrica, mayor resistencia química, tasas de deposición homogéneas, reducción de generación de partículas