Microscopio de fuerza atómica

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Resumen del producto
El microscopio de fuerza atómica (AFM a nivel wafer) es un instrumento de sonda de barrido de alta resolución diseñado para caracterizar la morfología superficial tridimensional y las propiedades multifuncionales de conductores, semiconductores e aislantes a escala de obleas, con aproximación de sonda automatizada y alta precisión de posicionamiento.

Características

• Pruebas multifunción avanzadas: capacidades de medida que incluyen módulo de Young, adhesión, imagen de dominios magnéticos, potencial superficial, función de trabajo y otras magnitudes físicas.
• Entorno adaptable: compatible con accesorios como platos de cultivo y etapas calefactadas; admite mediciones en fases de aire y líquido y operación en entornos sumergidos y de alta temperatura.
• Aproximación de sonda inteligente: inserción automática de la sonda mediante un tubo de escaneo piezoeléctrico con un solo botón.
• Tamaño de muestra adaptable: diseñado para el manejo de obleas de 12 pulgadas y compatibilidad con obleas de 8, 6, 4 pulgadas y fragmentos.

Indicadores técnicos

• Nivel de ruido (XY): 0,2 nm (bucle cerrado), 0,02 nm (bucle abierto).
• Nivel de ruido (Z): 0,06 nm (bucle cerrado), 0,03 nm (bucle abierto).
• No linealidad: 0,15 % (XY), 1 % (Z).
• Modo de barrido: modo de barrido completo de sonda XYZ (la muestra permanece inmóvil durante el barrido).
• Rango de barrido: 90 μm × 90 μm × 9 μm.
• Tasa de barrido: 0,1 Hz a 30 Hz.
• Puntos de muestreo de imagen: de 32 × 32 hasta 4000 × 4000.
• Compatibilidad de tamaño de muestra: oblea de 12 pulgadas; retrocompatible con obleas de 8, 6, 4 pulgadas y fragmentos.
• Modos de trabajo: contacto, tapping, no contacto.
• Entornos adaptativos: fases de aire y líquido.
• Modos de medición multifuncionales: EFM, KPFM, PFM, C-AFM, SCFM, MFM, LFM, nano-grabado/procesado, espectroscopía de fuerza en un punto, modo de modulación de fuerza.
• Opcional: carga y descarga totalmente automática.
• Sistema de aproximación de sonda totalmente automático: recorrido 35 mm, precisión de paso 50 nm.

Imágenes representativas / casos reales

• Morfología de muestra de proteína globular (modo tapping).
• Potencial de electrodo en tira Au-Ti — escaneado por KPFM (modo lift), ejemplo de barrido: 18 μm × 18 μm.
• Fuerza electrostática del electrodo Au-Ti — EFM (modo lift), ejemplo de barrido: 18 μm × 18 μm.
• Dominio magnético de película delgada Fe-Ni — MFM (modo lift), ejemplo de barrido: 14 μm × 14 μm.
• Mapa de amplitud vertical piezoeléctrica de PbTiO3 — PFM (modo contacto), ejemplo de barrido: 20 μm × 20 μm.
• Morfología de esferas de poliestireno — modo tapping, ejemplo de barrido: 10 μm × 10 μm.
• Imágenes de morfología de fibras de SiC.

Características / especificaciones

• Tipo de sonda: sonda micro-cantilever para caracterización 3D de superficies.
• Resolución de imagen: hasta 20 picómetros (declaración del sistema).
• Etapa de posicionamiento: etapa de posicionamiento motorizada con imagen óptica; precisión de posicionamiento 1 µm en un área de 300 mm × 300 mm.
• Automatización: aproximación de sonda automatizada y ajuste de parámetros de escaneo; opción de carga/descarga automática de obleas.
• Soporte de entorno y muestras: admite platos de cultivo, etapas calefactadas, celdas líquidas y configuraciones de alta temperatura para condiciones experimentales flexibles.
• Aplicaciones típicas: caracterización de materiales, imagen de dominios magnéticos, mapeo de potencial superficial, mapeo de respuesta piezoeléctrica, morfología a escala nanométrica de muestras biológicas e inorgánicas.