Termorregulador sin visualizador Semistat S 1200

termoeléctricode proceso

El uso de sistemas de regulación de temperatura Semistat permite reducir el consumo de energía hasta un 90 % con respecto a sistemas basados en compresores. El espacio necesario mínimo junto a la posibilidad de realizar una instalación bajo el suelo en el punto de uso minimiza la ocupación del espacio limpio. Gracias a una regulación rápida y precisa de la temperatura de los perfiles de temperatura del proceso con una exactitud de ±0,1 K se logra una homogeneidad "Wafer-to-Wafer" mejorada. Características de rendimiento Termostato de proceso termoeléctrico con bajo consumo energético Funcionamiento silencioso y sin vibraciones gracias a la tecnología de refrigeración sin refrigerantes No se requieren filtros ni componentes de ADI Con conexión para purgar con aire limpio y seco (CDA) y evitar la condensación Uso de líquidos perfluorados Versión con refrigeración por agua Tamaño y peso reducidos Volumen de líquido caloportador muy bajo Conforme a SEMI S2 y F47 Características técnicas (según DIN 12876) Estabilidad de temperatura 0.1 ± K Potencia calorífica mín. 3 kW Volumen de llenado mín. 1 L Volumen de llenado máx. 1.3 L Dimensiones (an x pr x al) 116 x 232 x 470 mm Peso 15 kg Alimentación de red Connection to PSC