Baño termostático compacto Semistat S 2400

de temperatura constantepara termostatode refrigeración por agua

Descripción
Termostato de proceso termoeléctrico Point-of-Use (POU) diseñado para el control preciso de la temperatura en procesos de semiconductores y aplicaciones de laboratorio. Permite reducir el consumo energético hasta un 90 % frente a sistemas basados en compresores. Diseño compacto con posibilidad de instalación bajo el suelo en el punto de uso para minimizar el espacio en sala limpia. Control rápido y preciso de los perfiles de temperatura del proceso a ±0,1 K, mejorando la homogeneidad wafer-to-wafer.

Características de rendimiento

• Termostato termoeléctrico de proceso con bajo consumo energético
• Tecnología de refrigeración sin refrigerante: funcionamiento silencioso y con bajas vibraciones
• No requiere filtros ni componentes DI
• Conexión para purga con aire limpio y seco (CDA) para evitar la condensación
• Uso de fluidos de transferencia térmica perfluorados
• Disponible en versión refrigerada por agua
• Tamaño y peso compactos
• Volumen de líquido caloportador extremadamente bajo
• Cumple SEMI S2 y F47

Zona de trabajo

• Temperatura de trabajo mínima: -20 °C
• Temperatura de trabajo máxima: 90 °C
• Estabilidad de temperatura: 0.1 ± K

Potencia frigorífica
Temperatura — Potencia frigorífica 50 Hz — Potencia frigorífica 60 Hz
20 °C — 2.45 kW — 2.45 kW
10 °C — 1.93 kW — 1.93 kW
0 °C — 1.40 kW — 1.40 kW
-10 °C — 0.88 kW — 0.88 kW
-20 °C — 0.35 kW — 0.35 kW

Información adicional

• Referencia: L003277
• Categoría de dispositivo: Termostatos termoeléctricos de proceso / Termostatos de proceso

Especificaciones técnicas

• Rango de temperatura de trabajo: -20 ... 90 °C
• Estabilidad de temperatura: 0.1 ± K
• Potencia mínima de calefacción: 6 kW
• Volumen de llenado mínimo: 1.25 L
• Volumen de llenado máximo: 1.6 L
• Dimensiones (An x Pr x Al): 116 x 300 x 560 mm
• Peso: 27 kg (peso neto 26.81 kg)
• Alimentación / conexión: Connection to PSC