Sistema de termorregulación Semistat S 4400

Descripción
El Semistat S 4400 es una unidad de control de temperatura termoeléctrica Point-of-Use diseñada para aplicaciones de proceso que requieren regulación rápida y precisa. Su tamaño compacto y la opción de instalación bajo suelo en el punto de uso reducen la ocupación en salas limpias. El control preciso a ±0,1 K mejora la homogeneidad wafer a wafer y permite ahorros energéticos frente a sistemas basados en compresores.

Características de rendimiento

• Termostato de proceso termoeléctrico con bajo consumo energético
• Funcionamiento silencioso y sin vibraciones gracias a la tecnología de refrigeración sin refrigerantes
• No se requieren filtros ni componentes DI
• Conexión para purgar con aire limpio y seco (CDA) para evitar condensación
• Uso de fluidos caloportadores perfluorados
• Versión refrigerada por agua
• Tamaño y peso reducidos
• Volumen de líquido de transferencia de calor extremadamente bajo
• Conforme a SEMI S2 y F47

Zona de trabajo

• Temperatura de trabajo mínima: -20 °C
• Temperatura de trabajo máxima: 90 °C
• Estabilidad de temperatura: ±0,1 K

Potencia frigorífica (ejemplos)
Temperatura — Potencia frigorífica 50 Hz — Potencia frigorífica 60 Hz
20 °C — 4,4 kW — 4,4 kW
10 °C — 3,5 kW — 3,5 kW
0 °C — 2,6 kW — 2,6 kW
-10 °C — 1,65 kW — 1,65 kW
-20 °C — 0,7 kW — 0,7 kW

Datos técnicos (según DIN 12876)

• Rango de temperatura de trabajo: -20 ... 90 °C
• Estabilidad de temperatura: ±0,1 K
• Potencia mínima de calentamiento: 12 kW
• Volumen de llenado mínimo: 2,5 L
• Volumen de llenado máximo: 2,8 L
• Dimensiones (ancho × fondo × alto): 194 x 300 x 560 mm
• Peso: 38 kg
• Alimentación: conexión PSC