DescripciónInspección óptica automatizada (AOI) para sustratos de CI; el Galaxy 5Cχ admite tecnología línea/espacio mínima hasta 5 µm. Diseñado para fabricación de alto volumen, combina imágenes en color de alta resolución con óptica avanzada y motores de detección para identificar defectos de proceso y ensamblaje en sustratos avanzados.
Capacidades clave- Inspección hasta 5 µm línea/espacio para tecnologías avanzadas de sustratos de CI
- Cámara color de alta resolución para mejor reconocimiento de características
- Tecnología óptica Prisma™ Gen II para iluminación flexible y contraste máximo
- Motor de detección Spark™ 3.0 multiplataforma con algoritmos personalizables
- Equilibrio optimizado entre resolución y velocidad de escaneo para alto rendimiento
Puntos destacados- Motores lineales para movimiento suave y silencioso
- Plataforma mecánica compacta para integración en planta
- Hardware de 6ª generación para mayor rendimiento y fiabilidad
- Bloque de iluminación mejorado con opción de iluminación multi‑onda X-WAVE™
- Configuración rápida e intuitiva de trabajos para reducir tiempos de cambio
- Compatible con automatización AMHS frontal o manipulación por robot
Opciones- Fi™ — opción de inspección final para placas terminadas
- +2DM™ metrología — medición de dimensiones de panel
- +2CD™ metrología — medición 2D de elementos de circuito
- +3DH™ metrología — medición 3D de altura de elementos de circuito
- +3DP™ metrología — perfilado 3D de elementos de circuito
- LDI™ — opción de inspección de perforación láser
- CDB™ / CDBIC™ — clasificación de defectos y mapeo virtual de defectos
- VVS™ — sistema de verificación virtual
- X-WAVE™ — opción de iluminación multi‑onda
Especificaciones técnicas- Aplicación: Inspección óptica automatizada (AOI) para sustratos de CI
- Capacidad mínima línea/espacio: 5 µm
- Cámara: cámara color de alta resolución
- Tecnología óptica: Prisma™ Gen II (iluminación flexible, alto contraste)
- Motor de detección: Spark™ 3.0 (multiplataforma, algoritmos personalizables)
- Sistema de movimiento: motores lineales para movimiento suave y silencioso
- Diseño mecánico: plataforma compacta apta para integración
- Generación de hardware: hardware de 6ª generación
- Iluminación: bloque de iluminación mejorado; X-WAVE™ opcional
- Opciones de metrología: +2DM™, +2CD™, +3DH™, +3DP™
- Opciones adicionales: Fi™, LDI™, CDB™/CDBIC™, VVS™
- Compatibilidad con automatización: compatible con AMHS frontal o manipulación robotizada