Descripción del productoPhoenix PT/Micro, sistema AOI de CIMS, está diseñado para inspeccionar fotoherramientas de líneas ultrafinas, como películas artísticas y máscaras de vidrio. Es capaz de detectar hasta 7 µm de ancho línea/espacio. Al utilizar iluminación transmisiva optimizada para la inspección de máscaras, el sistema garantiza la detección fiable de defectos que podrían transferirse a paneles fabricados con máscaras defectuosas. El rendimiento se logra combinando adquisición de imagen de alta calidad con algoritmos de detección personalizables y firmware de procesamiento avanzado. Phoenix PT/Micro funciona con Spark™ — un motor de detección multiplataforma que ofrece altas tasas de detección con el mínimo de falsos positivos.
Puntos destacados- Mesa de vidrio transparente o mate
- Compatible con una amplia gama de marcos
- Apropiado tanto para máscaras de vidrio como para películas artísticas
- Estructura mecánica robusta
- Diseño ergonómico para el operario
- Firmware de procesamiento de imagen de alto rendimiento
- Procesadores potentes para manejar grandes volúmenes de datos
- Configuración rápida e intuitiva para nuevos trabajos
Opciones- Diferentes tamaños de marcos para máscaras de vidrio
- Adaptador de marco universal
- Seguidor de altura integrado
- +2CD™ metrología — medición 2D de elementos de circuito
- CDB™/CDBIC™ — clasificación de defectos y mapeo virtual de defectos
Especificaciones técnicas- Modelo: Phoenix PT/Micro
- Aplicación: AOI para fotoherramientas de líneas ultrafinas (películas artísticas y máscaras de vidrio)
- Detectabilidad mínima línea/espacio: hasta 7 µm
- Iluminación: trayectoria de luz transmisiva optimizada para inspección de máscaras
- Motor de detección: Spark™ motor de detección multiplataforma
- Adquisición de imagen: adquisición de imagen de alta calidad
- Software: algoritmos de detección personalizables, firmware de procesamiento avanzado
- Mecánica: estructura robusta, diseño ergonómico, compatible con múltiples tamaños de marcos
- Metrología y clasificación opcionales: +2CD™ metrología, CDB™/CDBIC™