DescripciónAOI para sustratos IC y HDI de líneas ultra-finas con soporte mínimo de línea/espacio hasta 10 µm. Galaxy 10Cχ, la última generación de sistemas AOI de CIMS, equipado con cámara color, está diseñado para soportar la fabricación en volumen de sustratos IC avanzados y HDI de líneas ultra-finas. Es capaz de inspeccionar tecnologías con ancho de línea/espacio de hasta 10 µm y combina adquisición de imagen de alta resolución con algoritmos de detección personalizables. La tecnología óptica Prisma™ Gen II proporciona una cobertura de iluminación flexible y contraste máximo para permitir la adquisición de imágenes de alta resolución a alta velocidad de escaneado. Equipado con capacidades avanzadas de adquisición de imágenes y software, la familia Galaxy ofrece una detección precisa con una baja tasa de falsos positivos. Galaxy 10Cχ funciona con Spark™ 3.0, el motor de detección multiplataforma de última generación de CIMS.
Aspectos destacados- Motores lineales para movimiento suave y silencioso
- Plataforma mecánica compacta
- Hardware de 6.ª generación
- Bloque de iluminación mejorado
- Configuración rápida e intuitiva para nuevos trabajos
- Compatible con automatización AMHS frontal o robot
Opciones- Fi™ – opción de inspección final para placas terminadas
- +2DM™ metrología – medición de dimensiones del panel
- +2CD™ metrología – medición 2D de elementos de circuito
- +3DH™ metrología – mediciones 3D de la altura de elementos de circuito
- +3DP™ metrología – perfilado 3D de elementos de circuito
- LDI™ – opción de inspección de taladrado láser
- CDB™/CDBIC™ – clasificación de defectos y mapeo virtual de defectos
- VVS™ – sistema de verificación virtual
- X-WAVE™ – iluminación multi‑onda
Especificaciones técnicas- Aplicación: AOI para sustratos IC y HDI de líneas ultra-finas
- Línea/espacio mínimo soportado: hasta 10 µm
- Cámara: cámara color para adquisición de alta resolución
- Tecnología óptica: Prisma™ Gen II para cobertura de luz flexible y contraste máximo
- Motor de detección: Spark™ 3.0 motor de detección multiplataforma
- Rendimiento: imagen de alta resolución a alta velocidad de escaneado con algoritmos de detección personalizables
- Plataforma: plataforma mecánica compacta con motores lineales para movimiento suave y silencioso
- Generación de hardware: hardware de 6.ª generación
- Iluminación: bloque de iluminación mejorado, opción X-WAVE™ multi‑onda disponible
- Automatización: compatible con automatización AMHS frontal o robot
- Opciones de metrología: +2DM™, +2CD™, +3DH™, +3DP™
- Adiciones de inspección: Fi™ inspección final, LDI™ inspección de taladrado láser
- Opciones de software: CDB™/CDBIC™ clasificación de defectos y mapeo virtual; VVS™ sistema de verificación virtual
- Diseñado para: fabricación en volumen con baja tasa de falsos positivos