DescripciónInspección final de paneles para substratos IC muy avanzados y HDI de líneas ultrafinas con capacidad mínima de línea/espacio hasta 5 µm. Galaxy Fi 5Cχ, el último sistema de inspección final basado en paneles de CIMS, está diseñado para soportar la inspección final de substratos IC avanzados y HDI de líneas ultrafinas. Está equipado con una cámara a color y es capaz de escanear tecnologías con línea/espacio hasta 5 µm.
La tecnología óptica de vanguardia del sistema para la inspección final está diseñada para lograr el máximo contraste en paneles cubiertos por resina de máscara de soldadura y producidos con diversos procesos de acabado metálico. Esta tecnología soporta la adquisición de imágenes de alta resolución y asegura la detección fiable de defectos en cobre chapado, chapado en oro/OTC, máscara de soldadura y laminado desnudo.
Equipado con adquisición de imagen de última generación y capacidades de software avanzadas, la familia Galaxy es reconocida por su detección excepcional con la tasa de falsas alarmas lo más baja posible. Galaxy Fi 5Cχ funciona con Spark™ 3.0 – un innovador motor de detección multiplataforma.
Aspectos destacados- Motores lineales para movimiento suave y silencioso
- Estructura mecánica robusta
- Meseta de vacío automatizada
- Firmware de procesamiento de imágenes de alto rendimiento
- Ordenador de próxima generación para procesar grandes volúmenes de datos
- Configuración rápida e intuitiva para nuevos trabajos
- Compatible con automatización AMHS frontal/trasera o robot
Opciones- +2DM™ metrología – medición de dimensiones del panel
- +2CD™ metrología – medición 2D de elementos del circuito
- +3DH™ metrología – mediciones 3D de la altura de elementos del circuito
- +3DP™ metrología – perfilado 3D de elementos del circuito
- CDB™/CDBIC™ – clasificación de defectos y mapeo virtual de defectos
- X-WAVE™ – iluminación multi-onda
Especificaciones técnicas- Capacidad mínima de inspección línea/espacio: 5 µm
- Imagen: cámara a color, adquisición de imágenes de alta resolución
- Tecnología óptica optimizada para máscara de soldadura, cobre chapado, chapado en oro/OTC y laminado desnudo
- Motor de detección: Spark™ 3.0 motor de detección multiplataforma
- Movimiento: motores lineales para desplazamiento suave y silencioso
- Mecánica: estructura robusta con meseta de vacío automatizada
- Procesamiento: firmware de procesamiento de imágenes de alto rendimiento y ordenador de próxima generación para grandes datos
- Usabilidad: configuración rápida e intuitiva de trabajos
- Automatización: compatible con automatización AMHS frontal/trasera o robots
- Opciones de metrología y análisis disponibles: +2DM™, +2CD™, +3DH™, +3DP™, CDB™/CDBIC™, X-WAVE™