ResumenGalaxy 7Cχ es un sistema de inspección óptica automática (AOI) para sustratos IC, diseñado para soportar fabricación de alto volumen con detección mínima de línea/espacio hasta 7 µm. El sistema incorpora una cámara en color y óptica avanzada para capturar imágenes de alta resolución a velocidades de escaneo productivas.
Puntos destacados- Tecnología óptica Prisma™ Gen II para cobertura de iluminación flexible y alto contraste
- Motor de detección Spark™ 3.0 multiplataforma con algoritmos personalizables
- Adquisición de imagen en color optimizada para captura de alta resolución a velocidad
- Motores lineales para movimiento suave y silencioso
- Plataforma mecánica compacta adecuada para integración en planta
- Hardware de 6ª generación con bloque de iluminación mejorado
- Configuración rápida e intuitiva para reducir los tiempos de cambio de trabajo
Opciones- Fi™ – opción de inspección final para placas terminadas
- +2DM™ metrología – medición de dimensiones de panel
- +2CD™ metrología – medición 2D de elementos de circuito
- +3DH™ metrología – medición 3D de la altura de elementos de circuito
- +3DP™ metrología – perfilado 3D de elementos de circuito
- LDI™ – opción de inspección de taladrado láser
- CDB™/CDBIC™ – clasificación de defectos y mapeo virtual de defectos
- VVS™ – sistema de verificación virtual
- X-WAVE™ – iluminación multi-onda
Especificaciones técnicas- Línea/espacio detectables mínimas: hasta 7 µm
- Tecnología óptica: Prisma™ Gen II para iluminación flexible y contraste máximo
- Adquisición de imagen: cámara en color con captura de alta resolución a alta velocidad de escaneo
- Motor de detección: Spark™ 3.0 multiplataforma
- Movimiento mecánico: motores lineales para movimiento suave y silencioso
- Plataforma: plataforma mecánica compacta para integración en planta
- Generación de hardware: hardware de 6ª generación
- Iluminación: bloque de iluminación mejorado (opción multi-wave X-WAVE™ disponible)
- Software: algoritmos de detección personalizables para optimizar rendimiento y minimizar falsos positivos
- Compatibilidad de automatización: compatible con AMHS frontal o robot
- Opciones de metrología e inspección disponibles: Fi™, +2DM™, +2CD™, +3DH™, +3DP™, LDI™, CDB™/CDBIC™, VVS™