Máquina de recubrimiento al vacío para cañón de electrones DXMC-500A

El DXMC-500A es un sistema PVD por haz de electrones para el depósito por evaporación de metales (incluidos metales refractarios) y ciertos óxidos. Incorpora un haz electrónico con deflexión de 270°, limpieza por descarga luminosa de plasma y control de proceso integrado, adecuado para laboratorio y producción ligera.

Parámetros técnicos principales

• Cámara de vacío: acero inoxidable SUS304, tamaño Φ500 mm × H600 mm, puerta frontal con ventana de observación para ver el cañón electrónico y la pieza.
• Cañón electrónico: un cañón tipo E de 10 kW situado en la parte inferior con obturador neumático; ángulo de deflexión 270°; crisol de cobre refrigerado por agua de seis orificios (electrónicamente transponible).
• Evaporación térmica: dos fuentes de evaporación térmica en rotación (conmutables); fuente de evaporación por cañón electrónico SEBG-103C (10 kW, crisol de 4 orificios).
• Sistema de vacío: bomba turbomolecular FF-200/1200 (refrigerada por agua) + bomba mecánica 8 L/s; válvula principal neumática GV200 de acero inoxidable; tuberías corrugadas DN40; recuperación a 5×10^-6 Torr ≤ 40 min; vacío último 5×10^-7 Torr.
• Control de vacío: unidad bomba molecular + bomba mecánica con válvula de compuerta neumática de alta precisión e interbloqueos; alarmas de agua, gas y fallo de fase incluidas.
• Medidor de vacío: medidor de vacío compuesto digital ZDF-5227.
• Control central: PLC Siemens con pantalla táctil para control centralizado de vacío, horneado, rotación, evaporación, iluminación y alarmas.
• Mecanismo de fijación: portamuestras rotativo para sustratos de 4-inch o 6-inch; velocidad de rotación 0–10 rpm; uniformidad de película ≤ ±3% en el área útil (especificación 6-inch).
• Control de espesor: interfaz de medidor de espesor por cristal de cuarzo; controlador de espesor (fabricación nacional) con control automático de la tasa de evaporación y la cortina; medidor equipado con 2 sondas.
• Horneado: calentamiento sobre el soporte con controlador de temperatura digital; temperatura máxima 350 ℃.
• Refrigeración para el cañón: caudal ≥ 10 L/min; presión de entrada ≥ 0.15 MPa; temperatura de entrada ≤ 25 ℃.
• Adicional: varilla de limpieza por descarga luminosa; controlador de flujo másico (MFC) D07-7 (1 circuito).
• Host y bastidor: host 1300 × 1200 × 1600 mm; bastidor de instalación (perfil de acero, paneles pintados); armario de control eléctrico 700 × 700 × 1760 mm.

Lista de configuración (tabla de producto)

• Cámara de vacío (Φ500 × H600 mm), puerta frontal, SUS304 — Set — Cant: 1 — Fabricante: DEXINMAG
• Ventana de observación (instalada en la puerta, Φ100 mm) — EA — Cant: 2 — Fabricante: DEXINMAG
• Cortina de ventana de observación (vidrio oscuro reversible, manual) — Set — Cant: 2 — Fabricante: DEXINMAG
• Placa anti-suciedad (acero inoxidable) — Set — Cant: 2 — Fabricante: DEXINMAG
• Cortina aletas (evita entrada de polvo en la línea de extracción) — Set — Cant: 1 — Fabricante: DEXINMAG
• Bomba turbomolecular (FF-200/1200, refrigerada por agua) — Set — Cant: 1 — Hecho en China
• Bomba mecánica (8 L/s) — Set — Cant: 1 — Hecho en China
• Válvula principal de vacío (GV200, acero inoxidable) — Set — Cant: 1 — Fabricante: DEXINMAG
• Tubería (tubo corrugado metálico DN40) — Set — Cant: 2 — Fabricante: DEXINMAG
• Válvula angular (KF40) — EA — Cant: 2 — Fabricante: DEXINMAG
• Medidor de vacío compuesto digital (ZDF-5227) — Set — Cant: 1 — Hecho en China
• Controlador de flujo másico de gas (D07-7) — Set — Cant: 1 — Hecho en China
• Placa soporte (uniformidad 6-inch ≤ ±3%) — Set — Cant: 1 — Fabricante: DEXINMAG
• Fuente de evaporación térmica (conmutable) — Grupo — Cant: 2 — Fabricante: DEXINMAG
• Fuente de evaporación por cañón electrónico (SEBG-103C, 10 kW, crisol 4 orificios) — Set — Cant: 1 — Hecho en China
• Varilla de limpieza glow (con fuente) — Set — Cant: 1 — Hecho en China
• Bastidor de instalación (perfil acero, pintado) — Set — Cant: 1 — Fabricante: DEXINMAG
• Medidor de espesor (2 sondas) — Set — Cant: 1 — Hecho en China
• Fuente de alimentación de control principal — Set — Cant: 1 — Fabricante: DEXINMAG

Repuestos (consumibles)

• Cristales — pcs — Cant: 10 — Suministrados por DEXINMAG
• Filamento de cañón electrónico — pcs — Cant: 10 — Suministrados por DEXINMAG
• Anillo de caucho 19×3.55 — pcs — Cant: 10 — Suministrados por DEXINMAG
• Vidrio plomado ventana D117×10 — pcs — Cant: 2 — Suministrados por DEXINMAG

Requisitos para el sitio de instalación

• Agua de refrigeración: temp. entrada ≤ 20 ℃; presión entrada ≥ 0.3 MPa; flujo ≥ 2 m³/h.
• Alimentación eléctrica: 380 V / 3 fases 5 hilos, 50 Hz; desequilibrio ≤ 2%; potencia ≥ 30 kW. Monofásica 220 V ± 10%. Sección neutro y tierra ≥ 10 mm².
• Aire comprimido: flujo ≥ 0.8 m³/min; presión ≥ 0.6 MPa.
• Cilindros de gas: número y especificación según necesidades del usuario; preparar sustratos, material diana y gas de trabajo (p.ej. argón de alta pureza).
• Huella del equipo: aprox. 2 m × 3 m × 2.5 m (H).

Especificaciones técnicas

• Tamaño de la cámara: Φ500 mm × H600 mm.
• Vacío último: 5×10^-7 Torr; recuperación a 5×10^-6 Torr ≤ 40 minutos.
• Cañón electrónico: 10 kW; deflexión 270°; crisol de cobre refrigerado por agua de seis orificios.
• Fuentes de evaporación térmica: 2 conmutables; cañón electrónico SEBG-103C (10 kW, 4 orificios).
• Bombeo: turbomolecular FF-200/1200 (refrigerada por agua) + bomba mecánica 8 L/s; tuberías DN40; válvula principal GV200 inox.
• Control de espesor: medidor de cuarzo y controlador; 2 sondas; control automático de tasa de evaporación y cortina.
• Rotación: soporta sustratos 4-inch o 6-inch; velocidad 0–10 rpm; uniformidad ≤ ±3% (área útil 6-inch).
• Horneado: hasta 350 ℃, controlador digital.
• Refrigeración (cañón): flujo ≥ 10 L/min; presión entrada ≥ 0.15 MPa; temp. entrada ≤ 25 ℃.
• Control: PLC Siemens con pantalla táctil; integración vacío, horneado, rotación, evaporación, iluminación y alarmas.
• Tamaño host: 1300 × 1200 × 1600 mm; armario de control: 700 × 700 × 1760 mm.