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- Xiamen Dexing Magnet Tech. Co., Ltd.
Línea de revestimiento de vacío Thin Film Solar Cell Continuous Preparation Equipmenten seco
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Características
- Especificaciones
- de vacío
- Tipo de revestimiento
- en seco
Descripción
El equipo continuo de preparación de células solares de película delgada CIGS se aplica al desarrollo y a la preparación a pequeña escala de células solares de película delgada a base de cobre, indio, galio y selenio.
Composición
Especificaciones técnicas
Composición
- Cámara de evaporación/deposición para cobre, indio, galio y selenio
- Cámara de pulverización (sputtering) de molibdeno
- Cámara de pulverización para cobre/indio/galio
- Cámara de pulverización ZnO
- Cámara de fotoetching láser
- Cámara amortiguadora para fabricación/procesamiento electroquímico
- Cámara de inyección de muestras (apertura/cierre manual)
- Cámara de entrega de muestras y banco/dispositivo de muestras
- Horno fuente de haz
- Blanco de control magnético y mecanismo magnético de entrega de muestras
- Unidad de calentamiento de muestras y carro portamuestras
- Sistema de bombas, sistema de medición de vacío
- Sistema de circuito de gases y sistema de control eléctrico
Especificaciones técnicas
- Presión final de la cámara de deposición: 6,6×10^-8 Pa
- Presión final de la cámara de pulverización: 6,6×10^-5 Pa
- Cámara de inyección de muestras: apertura/cierre manual; capacidad: hasta 6 muestras
- Sustrato de muestra: vidrio; tamaño típico: 100 × 100 × 3 mm
- Capacidad de muestras de la cámara de pulverización: 1 muestra
- Manejo de muestras: los sustratos pueden calentarse y entregarse manualmente a cada estación correspondiente en estado de vacío
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