- Máquinas y Equipos industriales
- Equipos para el tratamiento de superficies
- Máquina de recubrimiento al vacío
- Xiamen Dexing Magnet Tech. Co., Ltd.
Máquina de recubrimiento al vacío para lotes pequeños DXP-300
Añadir a mis favoritos
Añadir al comparador
Características
- Especificaciones
- para lotes pequeños
Descripción
Resumen
Composición
Especificaciones técnicas
Aplicaciones
Opciones y configuración
- El DXP-300 es un sistema PVD de recubrimiento por láser a escala de laboratorio, diseñado para preparar películas delgadas superconductoras, películas semiconductoras, películas ferroeléctricas y otras películas funcionales.
- Adecuado para investigación de materiales en película delgada y preparación en pequeñas series en universidades e institutos de investigación.
Composición
- Cámara de vacío para sputtering
- Plataforma de objetivos rotativa
- Placa calefactora de sustrato antioxidante
- Sistema de circuito de aire de trabajo y purga
- Máquina de instalación
- Sistema de medición de vacío
- Sistema de control eléctrico
Especificaciones técnicas
- Modelo: DXP-300
- Cámara principal: esfera, Ø300 mm
- Sistema de vacío: bomba mecánica + bomba molecular + válvula deslizante
- Presión final: ≤6.67*10-5 Pa (tras horneado y desgasificado)
- Recuperación del vacío: alcanza 5*10-3 Pa en 20 min (procedimiento especial: exposición breve al aire, inflar con cloro seco, luego iniciar el vaciado)
- Plataforma de objetivos rotativa: tamaño de objetivo Ø30 mm; hasta 4 objetivos; cada objetivo puede girar; admite cambio de revolución; velocidad 5–60 rpm
- Placa calefactora de sustrato — tamaño de muestra: 1 inch
- Placa calefactora de sustrato — movimiento: rotación continua del sustrato; velocidad 5–60 rpm
- Temperatura máxima del sustrato: 800℃ ±1℃
- Sistema de circuito de aire: controlador de flujo másico de un canal
- Escaneo del haz láser: mesa de escaneo mecánico 2D
- Sistema de control por ordenador: controla la revolución de la placa de objetivos, la rotación de objetivos, la rotación y temperatura de la muestra, el escaneo láser y funciones relacionadas
- Superficie ocupada — Unidad principal: 850 × 850 mm²
- Superficie ocupada — Armario de control eléctrico: 700 × 700 mm² (1 set)
Aplicaciones
- Investigación de materiales en película delgada: superconductores, semiconductores, ferroeléctricos y películas funcionales
- Preparación de pequeñas series de muestras para I+D y experimentos académicos
- Desarrollo de procesos y optimización de parámetros a escala de laboratorio
Opciones y configuración
- Disposición y materiales de objetivos personalizados
- Portamuestras y fijaciones para varios tamaños de sustrato
- Accesorios de vacío y filtrado, canales de masa adicionales bajo pedido
Catálogos
No hay ningún catálogo disponible para este producto.
Ver todos los catálogos de Xiamen Dexing Magnet Tech. Co., Ltd.Otros productos de Xiamen Dexing Magnet Tech. Co., Ltd.
Vacuum Equipment
* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.